依據(jù)加工方式的原理和特性，超精密加工方式除去加工，融合加工和形變加工三大類。
1、除去加工。又稱之為分離出來加工，是以產(chǎn)品上除去一部分原材料，是傳統(tǒng)式的機(jī)械設(shè)備加工方式，如銑削，切削，磨削，碾磨和打磨拋光等，及其特殊加工中的火花放電加工和電解法加工等，均屬這類加工方式。
2、融合加工。運(yùn)用機(jī)械和有機(jī)化學(xué)方式，將不一樣的原材料結(jié)合在一起。按融合的是原理，方式，高低等，它分成粘附，引入和聯(lián)接三種。
3、形變加工。又稱之為流動性加工，運(yùn)用力，熱，分子熱運(yùn)動等方式，是產(chǎn)品工件造成形變，更改其規(guī)格，樣子和特性。
超精加工全過程可分成4個(gè)環(huán)節(jié)：
①逐漸時(shí)磨刀石磨去不光滑凸峰的明顯鉆削環(huán)節(jié)；
②產(chǎn)品工件不光滑層被磨除后的正常的鉆削環(huán)節(jié)；
③磨砂顆粒變鈍，其功效是由鉆削銜接到磨擦打磨拋光的薄弱鉆削環(huán)節(jié)；
④磨刀石和產(chǎn)品工件已很光潔，觸碰總面積大大增加，因此氣體壓強(qiáng)降低，磨砂顆粒已不可以穿破浮油與產(chǎn)品觸碰，因此進(jìn)到終止鉆削環(huán)節(jié)。
超精密加工便是在超精密機(jī)械設(shè)備上，運(yùn)用零件與銑刀中間形成的具備嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓苁南鄬λ俣?，對資料開展少量鉆削，以得到極高樣子精密度和表層光滑度的加工全過程。其精密度從μm到亞微米，乃至納米技術(shù)，其使用范疇日趨普遍，在高新技術(shù)行業(yè)和軍工用工業(yè)生產(chǎn)及其國營經(jīng)濟(jì)里都有廣泛運(yùn)用，尤其是機(jī)電一體化行業(yè)，如集成電路工藝電子器件，高精密硬盤，精密雷達(dá)探測，巡航導(dǎo)彈火控系統(tǒng)，精密CNC精密零件，精密儀器設(shè)備，攝錄機(jī)磁帶機(jī)，打印機(jī)磁鼓，燃?xì)庠钷D(zhuǎn)閥等都需要選用超精密加工技術(shù)性。它與當(dāng)今一些關(guān)鍵科技進(jìn)步的發(fā)展趨勢有緊密的聯(lián)絡(luò)，是當(dāng)今科學(xué)發(fā)展觀的一個(gè)關(guān)鍵步驟；并且超精密加工技術(shù)性的快速發(fā)展也增進(jìn)了機(jī)械設(shè)備，液壓機(jī)，電子器件，半導(dǎo)體材料，電子光學(xué)，感應(yīng)器和檢測技術(shù)性及其管理科學(xué)的發(fā)展趨勢。

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